3d ๊ธ์ ํ๋ฆฐํธ์ ๋ฐ์๋๋ ํ๋ฆฐํธ๋ฌผ์ ์ฐํ๋ฅผ ๋ง๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฐํ(ISO 10648-2์ Class1)๋ ์ฑ๋ฒ๋ฅผ ์์ฐ๊ณ
๋นํ์ฑ ๊ฐ์ค(N2,Ar)๋ก ์ด๊ธฐ ์นํ์ ํ๋ค์ ์ง๋น์์ด์ ๊ณ ํจ์จ Purification System์ ๊ฐ๋ ์์ผ ์ฑ๋ฒ ๋ด๋ถ์ ์๋ถ๊ณผ ์ฐ์๋ฅผ
10ppm์ดํ๋ก ์ ๊ฑฐ์์ผ ๊ธ์ ํ๋ฆฐํธ๋ฌผ์ ์ฐํ๊ฐ ๋ฐ์๋์ง ์๋๋ก ํ๊ธฐ์ํ Enclosure ์ฅ๋น์ ๋๋ค.