์ฐ์๋ ์๋ถ๊ณผ ๋ฐ์ํ๋ฉด ์ฐํ(Oxydation) ํน์ ํญ๋ฐ(Explosion) ์ฐ๋ ค๊ฐ ์๋ ์๋ฃ๋ฅผ ์ํ์ฌ ๋ฐํ(ISO 10648-2์ Class1)๋
์ฑ๋ฒ ๋ด์์ ๋นํ์ฑ ๊ฐ์ค(N2,Ar)๋ก ์ด๊ธฐ ์นํ์ ํ๋ค์ ์ง๋น์์ด์ ๊ณ ํจ์จ Purification System์ ๊ฐ๋ ์์ผ ์ฑ๋ฒ ๋ด๋ถ์
์๋ถ๊ณผ ์ฐ์๋ฅผ 1ppm์ดํ๋ก ์ ๊ฑฐ์์ผ ์์ ํ ํ๊ฒฝ์์ ์คํ ํ ์ ์๊ฒ ํ๋ ์ฅ๋น์ ๋๋ค.